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双面研磨/抛光机
YJ-16B5L/PE

被加工件最大厚度:35mm
被加工件最大直径:φ380mm
机械分量:约4200kg
本机械合用于硅片、石英晶片、宝石片、光学水晶、光学玻璃、铌酸锂、陶瓷片、玻璃及其它硬脆资料的双面紧密研磨加工。
The machine is suitable for double-side precision lapping and polishing of silicon wafer, crystal quartz wafer, sapphire wafer, optical crystal, optical glass, lithium niobium acid, ceramic wafer, and other hard and fragile materials.
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产物描写
参数

产物特色产物特色
  • 机械接纳双机电驱动,游星轮在高低盘之间做行星勾当,工件高低外表同时平均研磨/ 抛光;
  • 盘面操纵高度节制在1050mm 之内,增添机械的不变性,合适操纵;
  • 内齿圈、太阳轮同步起落并接纳点动操纵体例;
  • 上盘装配增添机械的宁静装配,在摆片、维修等状况下不会因俄然毛病而降落,增添了宁静性;
  • 可完成游星轮的正、反转;经由过程游星轮正转和反转,完成盘面的修磨。

名目 规格 名目 规格
YJ-16B5PE YJ-16B5LE

高低盘(mm)

(内径x外径x厚度)

φ1140xφ375x45 (柱销齿)

高低盘(mm)

(内径x外径x厚度)

φ1140xφ375x45 (柱销齿)
φ1128xφ362x50 (渐开线齿) φ1128xφ362x50 (渐开线齿)
最小抛光厚度 (mm) 0.4 最小抛光厚度 (mm) 0.4
最大抛光厚度 (mm) 35 最大抛光厚度 (mm) 35
最大抛光直径(mm) φ380 最大抛光直径(mm) φ380
装置游星轮个数 5 装置游星轮个数 5
下盘转速 0-50RPM 下盘转速 0-50RPM
上盘晋升气缸路程 450mm 上盘晋升气缸路程 450mm
齿圈抬升路程 30mm 齿圈抬升路程 30mm
上盘机电 三相 7.5Kw 1450rpm 上盘机电 三相 7.5Kw 1450rpm
下盘机电 三相 7.5Kw 1450rpm 下盘机电 三相 7.5Kw 1450rpm
太阳轮机电 三相 1.5kw 1450rpm 太阳轮机电 三相 1.5kw 1450rpm
砂泵机电 250W 砂泵机电 250W
加压规模 0-500kg 加压规模 0-500kg
任务压力 0.5-0.6Mpa 任务压力 0.5-0.6Mpa
装机容量 约18KVA 装机容量 约18KVA
形状尺寸 1970x1765x2670 (mm) 形状尺寸 1970x1765x2670 (mm)
装备品德 约4200kg 装备品德 约4200kg
装备每平方米分量 约1550kg/㎡ 装备每平方米分量 约1550kg/㎡
装备请求空中承重 约1710kg/㎡ 装备请求空中承重 约1710kg/㎡

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